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去除灰尘和油污；精细清洗和去静电；提高表面的附着能力；提高表面粘接的可靠性和持久性； AF/AS 层褪镀。
● 真空腔体采用不锈钢制作而成；
● 超低温：温度低至40度；
● 全方位表面清洗：异向等离子体可以进入超细狭缝清洗；
● 环保：处理前后无有害物质产生，远离有害溶剂对人体的伤害；
● 稳定：连续性和恒定性来维持机器设备 运行时的稳定性；
● 清洗：去除灰尘和油污，精细清洗和去静电；
● 活化：提高表面的附着能力，物体表面能大幅增加 ；
● 褪镀：AF/AS 层褪镀。
功能配置 | 技术参数 | |||
型号 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
外型尺寸(mm) | L=1200 W=920 H=1690 | |||
真空腔内尺寸(mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
真空腔材质 | 不锈钢 | |||
电极板尺寸(mm) | 319(L)×374(W) | 320(L)×420(W) | 380(L)×440(W) | 520(L)×470(W) |
电极板材质 | 专用铝电极 | |||
重量 | 560kg | 580kg | 630kg | 680kg |
控制 | PLC+触摸屏 | |||
电极板结构 | 水平8层 | |||
真空泵系统 | 两级油旋片真空泵、罗茨真空泵组 | |||
真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 | |||
气体测量系统 | 高精密质量流量计 | |||
等离子发生器 | 高精密0-500W等离子发生器 | 高精密0-1000W等离子发 生器 | ||
等离子匹配器 | 高精密0-500W自动匹配器 | 高精密0-1000W自动匹配 器 | ||
工作真空度 | 10-100 Pa | |||
真空泵极限压力 | 5×10¹Pa | |||
抽真空时间 | ≤55S | ≤70S | ≤80S | ≤100S |
破真空时间 | ≤15S | ≤20S | ≤25S | ≤30S |
气体控制范围 | 质量流量0-300SCCM(可自选) | 质量流量0-500SCCM(可 自选) | ||
射频电源 | 0-500W(范围内可调) | 0-1000W(范围内可调) | ||
操作模式 | 人工取放， 一键全自动操作 | |||
电源 | 三相380V | |||
总功率 | 4 kw | 4.5 kW | ||
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