高精度晶圆管理解决方案 用于
生产和圆角检测结果的晶圆阵列兼容软件 重新映射（符合 SECS/GEM 标准）

高速点胶，无中断连续运行
- 高速对准，无中断连续运行：
Mu SKY Capture功能
- 自动管理涂层量：DVM功能
- 形成理想的点胶模式 “叶线 ”以避免空隙：MCD功能[PAT. P]
・ 防止质量缺陷：AFC 功能
・配备晶圆映射功能
・连接到 EFEM
可实现全自动生产 ・晶圆和 FOUP 支持
・晶圆映射功能
・结果重新映射（SECSGEM 兼容） *可选

什么是 EFEM（设备前端模块）？

什么是 EFEM（设备前端模块）？

EFEM 是一种模块化设备，用于装载和卸载晶圆，负责自动从储存晶圆的箍 （FOUP） 和晶圆盒中取出晶圆，并将其运输到工艺设备，同时保持洁净室标准。